WVCP4200 Sistem Pendinginan Kriogenik Uap Air Cryopump
Deskripsi Produk
Konsumsi energi sangat rendah
Biaya pengoperasian dan pemeliharaan yang rendah
Perangkap dingin didinginkan hingga -135℃
Tingkatkan hasil 50% hingga 100%
Beban maksimum 550-6000w
Mempersingkat waktu vakum 25%-50%
Teori kecepatan pemompaan 47040-882000 liter per detik
Kapasitas pendinginan lebih dari mesin model lain dengan kompresor perpindahan yang sama
Perangkap dingin dapat mencapai kecepatan ekstraksi yang ideal dalam waktu 3 menit
Keandalan tinggi, stabilitas, secara signifikan meningkatkan kualitas deposisi lapisan
Cryopump uap air seri WVCP
Kecepatan pemompaan yang lebih besar & kapasitas pendinginan yang lebih besar
Paten asli dari desain pemeriksaan blok oli, penyelesaian menyeluruh dari masalah penyumbatan oli kriogenik
Memuat sambungan pipa menggunakan desain penguncian yang unik untuk menghilangkan kebocoran
Perlindungan lingkungan, tanpa gas yang mudah terbakar
Kompatibel dengan peralatan yang diimpor
Parameter Teknis
| Model | WVCP4200-SH | WVCP4200-DH |
| Kapasitas pendinginan maksimum (W) | 4200 | 4200 |
| Teori kecepatan pemompaan maksimum tubular cold trap (L/S) | 367500 | 367500 |
| Teori kecepatan maksimum plate cold trap (L/S) | 529200 | 529200 |
| Vakum akhir (mbar) | 2*10-8 | 2*10-8 |
| Waktu pencairan area perangkap dingin maksimum (min) | <3 | <3 |
| Kisaran suhu pencairan yang dapat disesuaikan (℃) | -20~30 | -20~30 |
| Mode kontrol tekanan | Sensor digital + Sakelar mekanis | Sensor digital + Sakelar mekanis |
| Cepat mengembalikan fungsi tekanan keseimbangan (QRBP) | Ya | Ya |
| Fungsi bukti pemblokiran oli (OBP) | Ya | Ya |
| Kontrol jarak jauh 4G | Ya | Ya |
| Properti media dingin | Pro-lingkungan | Pro-lingkungan |
| Luas permukaan maksimum perangkap dingin tubular (㎡) | 2.5 | 2.5 |
| Luas permukaan maksimum perangkap dingin pelat (㎡) | 3.6 | 3.6 |
| Spesifikasi perangkap dingin tunggal (㎡) | 16mm * 50m | / |
| Spesifikasi perangkap dingin ganda (㎡) | / | 2 * 16mm * 25m |
| Antarmuka gas | 12,7 sambungan las tembaga (Standar) | 12,7 sambungan las tembaga (Standar) |
| ParkerCPI/VCR (Opsional) | ParkerCPI/VCR (Opsional) | |
| Aliran air pendingin (L / Min pada 24 ) | 28 | 28 |
| Suhu alarm air pendingin (℃) | 38 | 38 |
| Menara pendingin | Ya | Ya |
| Konektor air pendingin (L/S) | G3/4 | G3/4 |
| Daya beban maksimum (kW) | 16,5 | 16,5 |
| Daya nominal kompresor (HP) | 10 | 10 |
| Catu daya (50HZ) | 380-400V AC 3P (H) | 380-400V AC 3P (H) |
| 200-230V AC 3P (L) | 200-230V AC 3P (L) | |
| Dimensi (MM) | 935(L)*873(D)*1809(H) | 935(L)*873(D)*1809(H) |
| Berat (KG) | 555 | 555 |
