Sistem Pendingin Kriogenik Uap Air WVCP3000 Cryopump
Deskripsi Produk
Guangzhou Xieyi Automation Technology Co., Ltd., yang didirikan pada tahun 2011, adalah perusahaan teknologi tinggi unik di Cina Selatan yang terlibat dalam pengembangan penelitian, produksi, konsultasi teknis, dan layanan untuk pompa penangkap uap air bersuhu sangat rendah dan lainnya peralatan suhu ultra-rendah.
XIEYI WVCP Cryochiller adalah sistem pendingin kriogenik loop tertutup yang menyediakan pendinginan 550 watt ~ 6.000 watt.Cryochiller ini dapat digunakan untuk menangkap uap air dan zat yang dapat terkondensasi lainnya dengan cara membekukannya ke permukaan yang dingin seperti koil Meissner (cryocoil).Cryochiller WVCP juga digunakan untuk mendinginkan objek seperti chuck elektrostatis yang digunakan dalam pemrosesan wafer semikonduktor.
Parameter Teknis
| Model | WVCP3000-SH | WVCP3000-DH |
| Kapasitas pendinginan maksimum (W) | 3000 | 3000 |
| Teori kecepatan pemompaan maksimum tubular cold trap (L/S) | 249900 | 249900 |
| Teori kecepatan maksimum perangkap dingin pelat (L / S) | 352800 | 352800 |
| Vakum akhir (mbar) | 2*10-8 | 2*10-8 |
| Waktu pencairan maksimum area perangkap dingin (min) | <3 | <3 |
| Kisaran suhu defrost yang dapat disesuaikan (℃) | -20~30 | -20~30 |
| Modus kontrol tekanan | Sensor digital + Sakelar mekanis | Sensor digital + Sakelar mekanis |
| Fungsi tekanan keseimbangan pemulihan cepat (QRBP) | Ya | Ya |
| Fungsi bukti pemblokiran oli (OBP) | Ya | Ya |
| Kontrol jarak jauh 4G | Ya | Ya |
| Sifat media dingin | Pro-lingkungan | Pro-lingkungan |
| Luas permukaan maksimum tabung perangkap dingin(㎡) | 1.7 | 1.7 |
| Luas permukaan maksimum perangkap dingin pelat (㎡) | 2.4 | 2.4 |
| Spesifikasi perangkap dingin tunggal (㎡) | φ16mm * 34m | / |
| Spesifikasi double cold trap(㎡) | / | 2 * φ16mm * 17m |
| Antarmuka gas | 12.7 sambungan las tembaga (Standar) | 12.7 sambungan las tembaga (Standar) |
| ParkerCPI/VCR (Opsional) | ParkerCPI/VCR (Opsional) | |
| Aliran air pendingin (L/Min pada 24℃) | 28 | 28 |
| Suhu alarm air pendingin (℃) | 38 | 38 |
| Menara pendingin | Ya | Ya |
| Konektor air pendingin (L/S) | G3/4 | G3/4 |
| Daya beban maksimum (kW) | 16.5 | 16.5 |
| Daya nominal kompresor (HP) | 10 | 10 |
| Catu daya (50HZ) | 380-400V AC 3P(H) | 380-400V AC 3P(H) |
| 200-230V AC 3P(L) | 200-230V AC 3P(L) | |
| Dimensi (MM) | 935(L)*873(D)*1809(H) | 935(L)*873(D)*1809(H) |
| Berat (KG) | 480 | 480 |
